Film

Mix gas

Gas ratio

C (at.%)

F (at.%)

Si (at.%)

O (at.%)

DLC

C₂H₂

－

100.0

－

－

－

F-DLC

C₂H₂:CF₄

2:1

97.0

0.6

－

2.4

1:1

97.1

1.2

－

1.7

1:2

96.6

2.1

－

1.2

Si-DLC

C₂H₂:TMS

2:1

65.8

－

26.7

7.5

1:1

60.4

－

32.2

7.3

1:2

54.0

－

38.4

7.6