| Model | R squared | Average error | Gap (µm) | ||||||||
| RM2 | RV2 | RD12 | RD22 | RD32 | D1 (%) | D2 (%) | D3 (%) | D1 | D2 | D3 | |
| R-model | 0.990 | 0.986 | 0.983 | 0.983 | 0.973 | 10.5 | 9.1 | 7.9 | 44.7 | 65.9 | 247.9 |
| ANN | 1.000 | 0.995 | 0.997 | 0.998 | 0.995 | 3.5 | 2.2 | 2.5 | 46,7 | 42,8 | 150,8 |