Parameters | 8 Ar | 28 Ar | 15 O2 | 40 O2 | 950 V | 1250 V |
Ar (%) | 4.50 | 5.46 | 7.79 | 7.22 | 7.29 | 7.86 |
O/Hf ratio | 1.91 | 1.74 | 1.82 | 1.88 | 1.86 | 1.77 |