| Motion | Amplitude | ||||||
|
|
| 1.2 μm | 2.4 μm | 4 μm | 4.8 μm | 6 μm | 9 μm |
| 50 Hz | X-axis |
|
| 81 % | 73 % | 72 % | 36 % |
|
| Y-axis | 100 % | 59 % |
|
|
|
|
| 100 Hz | X-axis |
|
| 73 % | 61 % | 57 % | 35 % |
|
| Y-axis | 100 % | 0 % |
|
|
|
|